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真空鍍膜是一種產生(shēng)薄膜(mó)材料的技術。在真空室內材料的原子(zǐ)從加熱(rè)源離析出來打到(dào)被鍍物體的表麵上。
然而,真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔(qiāng)室具有良好(hǎo)穩定的真空度。目前,真(zhēn)空鍍膜(mó)設備密封形式多(duō)采用(yòng)單根橡膠(jiāo)圈密封,這種密封形式適用於較小密封麵的密封,對於較大密封麵采用該種密封方式(shì)容易出現密(mì)封效果(guǒ)不佳的問題。
提供一種安全可靠的真空(kōng)鍍膜設(shè)備,本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統(tǒng)集成而成,可在高真空(kōng)蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,並(bìng)在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、製備(bèi)以及蒸鍍後樣(yàng)品(pǐn)的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全(quán)封閉製作,使整個(gè)薄膜(mó)生長和(hé)器件製(zhì)備過程高(gāo)度集成在(zài)一個完整的可控環境(jìng)氛圍的係(xì)統中,消(xiāo)除有機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能(néng)、大麵積有機光電器件和電路的製備。
標簽:真空鍍膜電源(yuán)