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在(zài)OLED顯示麵板(bǎn)的製造(zào)過程中,需要在玻璃基板(bǎn)上進行有機膜層的真空蒸鍍,該工作步驟需要在真空蒸鍍(dù)機內來完成。
因此,提供一種手(shǒu)套(tào)箱(xiāng)蒸鍍一體機,本(běn)係統由真空鍍膜係(xì)統和真空手套箱係統集成而成,可在高真空蒸鍍(dù)腔室中完成薄(báo)膜蒸鍍,並在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢(jiǎn)測。
真空(kōng)鍍膜係統(tǒng)優(yōu)點:蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉製作,使整(zhěng)個薄膜生長和器件製備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍(wéi)的係統中,消除有機大麵積電路製備過(guò)程中大氣環境中不穩定因素(sù)影響(xiǎng),保障了高性能、大麵(miàn)積有機光電器件和電路的製備。
真空(kōng)鍍膜係統主要用(yòng)於太陽(yáng)能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體製備等實(shí)驗研究與應用。
標簽:真空鍍膜電源
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