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係列直流磁控濺射電源的用途和特(tè)點

返回列表 來源: 發(fā)布日期:2020-11-05

   MSD係列直流磁控濺射電源
  主要用途:
  直流磁(cí)控濺射用於鍍製各種金屬
  主要特(tè)點:
  采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件,同時提高了抑製打火及重啟(qǐ)速度,應用(yòng)在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
  具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模(mó)式(shì),更能保證鍍膜工藝的重複(fù)性(xìng)。
  具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,充分滿足磁(cí)控濺射工藝過程(chéng)的連續性。
  主要參數可大範圍(wéi)調節
  可選(xuǎn)擇手動控製/模擬量接口控製(zhì),可選(xuǎn)配(pèi)RS485通訊接口。
  標(biāo)簽:中頻磁控濺射電源

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