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MSD係列直流磁控濺射電源
主要用途:
直流磁(cí)控濺射用於鍍製各種金屬
主要特(tè)點:
采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件,同時提高了抑製打火及重啟(qǐ)速度,應用(yòng)在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模(mó)式(shì),更能保證鍍膜工藝的重複(fù)性(xìng)。
具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,充分滿足磁(cí)控濺射工藝過程(chéng)的連續性。
主要參數可大範圍(wéi)調節
可選(xuǎn)擇手動控製/模擬量接口控製(zhì),可選(xuǎn)配(pèi)RS485通訊接口。
標(biāo)簽:中頻磁控濺射電源
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