MSB係列雙極脈衝磁控濺射電源（中頻電源）

　　主要用途：
　　雙極脈衝磁控濺射電源用於中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料，特別適合於（yú）反應磁（cí）控（kòng）濺射。能增加離化（huà）率，減（jiǎn）少電荷積累引起（qǐ）的異常（cháng）放（fàng）電，預防靶表麵中毒現象。
　　主要特點：
　　采用（yòng）先進（jìn）的電流型開關電源技術，減小（xiǎo）輸出儲能元件（jiàn），同時提高了抑製打火及重啟速度，應用在（zài）鋁（lǚ）靶鍍膜優勢更（gèng）為明顯。
　　具備恒流/恒功率模式可選。恒功率（lǜ）模式相對於傳統的恒（héng）流模式，更能保證鍍膜工（gōng）藝的重複性。
　　具有理（lǐ）想（xiǎng）的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，充分（fèn）滿足磁（cí）控濺射工藝過程的（de）連續性。
　　主要參數可大（dà）範圍調節
　　可選擇手動控製（zhì）/模（mó）擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
　　標簽：中頻磁控濺射電源