淺（qiǎn）談一下真空（kōng）鍍膜設備的製（zhì）作方法

真空（kōng）鍍膜有三種形式，即蒸發鍍膜（mó）、濺射鍍膜和離子鍍:蒸發鍍膜，通（tōng）過加熱蒸發某種物質使（shǐ）其沉積在（zài）固體表麵；濺射鍍膜用高能粒子轟擊固（gù）體（tǐ）表麵時能使固體表（biǎo）麵（miàn）的粒子獲得能量並逸出表麵，沉積在基片上；離子鍍蒸發物質的分子被（bèi）電（diàn）子碰撞電離後以離子沉積在固體表麵。這（zhè）三種形式的真空鍍膜技（jì）術都（dōu）需要一種快速冷卻裝置來輔助真空（kōng）鍍（dù）膜工程。

　　真空（kōng）設備由於在鍍膜過程中工件處於密閉的真空環境中，但（dàn）產品工藝及性能卻喪失了很多，現有（yǒu）的真空（kōng）鍍膜設備，也有冷卻裝置，但其冷（lěng）卻效果不是很理（lǐ）想。

　　不能滿（mǎn）足人們的需要，為彌補現（xiàn）有技（jì）術（shù）不足，提供真空鍍膜設備手套箱蒸鍍一體機，本係（xì）統由真空鍍膜係統（tǒng）和（hé）手套箱（xiāng）係統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，並（bìng）在手套箱高純惰（duò）性氣體（tǐ）氛圍下進行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。能保證鍍膜產品工藝及性能質量的（de）要求而設置的快速冷卻係（xì）統，實現自動控製快速冷卻的目的。

　　蒸發鍍（dù）膜與手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉製作，使整個薄膜生長和器件製（zhì）備過（guò）程高度集成在一個完整的（de）可控環境氛圍的係統中，消除有機大麵積電路製備過程中大（dà）氣環境中不穩定（dìng）因素影（yǐng）響，保障了（le）高性能、大麵積有機光電器件和電（diàn）路的製（zhì）備。

　　標簽：真空鍍膜電源