安全可靠的真空鍍膜設備

真空（kōng）鍍膜是一種產生薄膜材料的技（jì）術。在（zài）真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表麵上。
　　然而，真空鍍膜（mó）的（de）先決條件是要確保真空（kōng）腔室具有良好穩定的真空（kōng）度。目前，真空鍍膜設備密封形式多采用單根橡膠圈密封，這種（zhǒng）密封形式適用於較小密封麵的密封，對於較大密封麵采用該種密封（fēng）方（fāng）式（shì）容易出現（xiàn）密封效果不佳的問題（tí）。
　　提供一種安全可靠（kào）的真空（kōng）鍍膜設備，本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成（chéng）薄膜蒸鍍，並在手套箱高（gāo）純惰性氣體氛圍下進行樣品的（de）存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。
　　蒸發鍍膜與手套箱組合（hé），實現蒸鍍、封裝、等（děng）工藝全封閉製作，使整個薄（báo）膜（mó）生長和器件製備過程高度集成在一個完整（zhěng）的可控（kòng）環境氛圍的（de）係統中，消除有機大麵積電路製（zhì）備過程中大氣環（huán）境中不（bú）穩（wěn）定因素影響，保障了高（gāo）性能、大麵積有機光（guāng）電器件和電路（lù）的製備。
　　標簽：真空鍍膜電源