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真空鍍膜設備為了與(yǔ)大氣隔絕,對於真空室的各個部件的連接(jiē)處、轉動軸(zhóu)、蓋、大門、觀察(chá)窗、電(diàn)源、信號引入端等所有地方,都(dōu)應設計有可靠的真空密封措施(shī)。
真空密封通常有可拆密封和不可拆密封(又稱永久性密封,包(bāo)括一些封接、焊接等操作)的區別。而可拆密封就相對比較複雜一點,包括了(le)靜密封與動密封(fēng)兩大類(lèi)形式。
一、靜密封
真空鍍膜室的靜密封是指連接件無法做相對運動的一種密封手段。如果隻是在低真空和高真空的環境,那可拆靜密封的密封(fēng)材料通常采用具有很大彈性的橡膠。如果是超高真空的環境要(yào)求,那麽可拆(chāi)靜(jìng)密封將有所(suǒ)限製(如高溫烘烤溫度、材料出氣率等),所以一般用軟金屬做鍍(dù)膜真空室的密封材料。
常(cháng)見的可拆靜密封材料有橡(xiàng)膠密封、金屬密封、氟塑料密封等,此外還包括一些(xiē)真空法蘭、真空規管(guǎn)接頭等零部件。
二、動密(mì)封
鍍膜工藝可能需要將外部(bù)的物料傳遞到真空(kōng)室中。對此,真空容器物料傳(chuán)遞的運動形式一般可通(tōng)過傳動軸的(de)轉動、擺動以及往複(fù)直線運動等設計來(lái)實現。
常見(jiàn)的動(dòng)密封型式是(shì)傳遞平動和轉動的O形圈和填料密封,對於密封要求高的設備好選用兩個O形圈來實現,因(yīn)為這種密封(fēng)方式可確保裝(zhuāng)置軸中心準直程度。
1、傳(chuán)遞軸轉動
這一類的動密封形式應用廣的是威爾(ěr)遜密封,其墊圈孔徑一般設計為軸直徑的0.65倍-0.8倍,再用金屬襯墊固定住墊片邊緣,橡膠墊孔扭曲變形使內緣貼緊軸,達到密封效果(guǒ)。該類型密封可用(yòng)傳動軸直徑(jìng)為1.5mm-70mm,但需要注意軸徑一旦超過20mm,在設計其結構時要知(zhī)道壓力(lì)差的(de)存在(zài),不會把軸壓到真空室裏麵。傳遞軸轉(zhuǎn)動密封常用雙墊圈,再於雙墊圈間做抽空或注入真空潤滑油脂等措施,以達到真空室密(mì)封性能的改善效果。
2、傳動軸擺動
這(zhè)一類動密封形式主要靠膜片的變(biàn)形或金(jīn)屬波紋管來實現傳遞軸的轉(zhuǎn)動或(huò)平移、擺動。該類(lèi)型密封形式有密封可靠、耐高溫烘烤(因為材料多(duō)是耐高溫的 膜片或金屬波紋管)等優勢,但是又有價格(gé)高、壽命短、位移量小等缺陷。現在主要在超高真(zhēn)空設備中使用。
3、往複直線運(yùn)動
這一類動密封裝置中(zhōng)的O形圈,不管是以外徑還(hái)是內徑作滑動密封,裝置(zhì)壓縮率通常都取10%~12%之間。因為是在拉(lā)伸(shēn)後安裝O形圈,所以斷麵直(zhí)徑縮小,導致實際壓縮量也對應縮小,實際(jì)壓縮率在拉伸(shēn)後一般(bān)不會低於8%。
標簽:真空鍍(dù)膜電源