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真空鍍(dù)膜是一種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加(jiā)熱源離析出來打到被鍍物體(tǐ)的表麵上。
然而,真空鍍膜(mó)的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩(wěn)定(dìng)的真空度。目前,真空鍍膜設備密封形式多采用(yòng)單根橡(xiàng)膠圈密封,這(zhè)種密封形式(shì)適用於較小密(mì)封麵的密封,對於(yú)較大密封麵(miàn)采用該種密封方式容易出現密封效果(guǒ)不(bú)佳的(de)問題。
提供一(yī)種安全可靠的真空鍍(dù)膜設備,本係統由真空鍍膜係統和手套箱係統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸(zhēng)鍍,並(bìng)在手套箱(xiāng)高純惰性氣(qì)體氛圍下進行樣品(pǐn)的存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉製作,使整(zhěng)個薄膜生長和器件(jiàn)製備過程高度集成在(zài)一(yī)個完整的可控環(huán)境氛圍(wéi)的係統中(zhōng),消除有機大麵積電路製(zhì)備過程中大氣環境(jìng)中不穩定因素影響,保障了高性能、大麵積有機光電器件和電路的製備。
標簽:真空鍍膜電源
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