真空鍍膜係統主要構成部分你知（zhī）道幾個？

1、真空室

　　塗層設備（bèi）主要有連續塗層生產線及（jí）單（dān）室（shì）塗層機兩種形（xíng）式（shì），不鏽鋼材料（liào）製造、氬弧焊接、表麵（miàn）進行化學拋（pāo）光處理，真空（kōng）室組件上焊有各種（zhǒng）規格的（de）法蘭接口。

　　2、真空獲得部分

　　在真空技術中，真空獲得（dé）部分是重要組（zǔ）成部分。真空的獲得（dé）不是一種真空設備和方法所能達到的（de），必須（xū）將（jiāng）幾種泵聯合使用，如機械泵、羅茨泵、分子（zǐ）泵（bèng）係統等。

　　3、真空測量部（bù）分

　　真空（kōng）係統的真空測量部分，就是要對真空室內的壓強進行測量。像真空泵一（yī）樣，沒有一種真空計能（néng）測量整個真空範圍，人們於是按（àn）不同的原理和要求製成了許多種類的真（zhēn）空計。如熱偶（ǒu）計，電離計，皮（pí）拉尼計等。

　　4、電源供給（gěi）部分

　　靶（bǎ）電（diàn）源主要有直流電源、中頻電源、脈衝電源、射頻電源(RF)，常（cháng）見的電源廠商有AE,ADL,霍廷（tíng）格等。

　　5、工藝（yì）氣體輸（shū）入係統

　　工藝氣體，如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷（wán）(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等，一般均由氣瓶供應，經氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流量計、電磁閥、壓電閥，然後通（tōng）入真空室。這種氣體輸入係統的優（yōu）點是，管路簡捷、明快，維修或更換氣瓶容易（yì）。各塗層機之間互不（bú）影（yǐng）響。也有多台塗層機（jī）共用一組氣瓶的情況，這種情況在一些規模較（jiào）大的塗層車間可能有機會看到。它的好處是，減少氣瓶（píng）占用量，統一規劃、統一布局。缺（quē）點是，由於接頭（tóu）增多，使漏氣機會增加。而且，各塗層機之間會互相幹擾，一（yī）台塗層（céng）機的管路漏氣，有可能會影（yǐng）響到其（qí）他塗層機（jī）的（de）產品（pǐn）質量。此外，更換氣瓶時，必須保證所有機台都（dōu）處於非用氣狀態。

　　6、機械傳（chuán）動部分

　　塗層要求周邊必須厚度均勻一致，因此（cǐ），在塗（tú）層過程中須有（yǒu）三個轉動量才能滿足（zú）要求。即在要求大工件（jiàn）台轉動(I)的同時，小的工件承載台也轉動( II),並且工件本身還能同時自（zì）轉(III)。在機（jī）械設計上，一般是在大工件轉盤底部中央為一大的主（zhǔ）動齒輪，周圍是一（yī）些小（xiǎo）的星行輪與之齧合，如果要實（shí）現產品自（zì）轉的話，一般（bān）用撥叉（chā）撥動（dòng）工件自轉。

　　7、加熱及測溫部分

　　塗層設（shè）備一般有不同位置的（de）加熱器，用熱電偶測控溫度。但是（shì），由於熱（rè）電偶裝夾的位置與工件（jiàn）位置不同（tóng），溫度讀數不可能是工件的真實溫度。要想測得工件的（de）真實溫度，有很多方法，可以在工件上裝高溫試紙或熱偶計。

　　8、離子蒸發及濺射源

　　多弧（hú）鍍的蒸發源（yuán）一般為圓餅形，俗稱圓餅靶，也有長方形的多弧靶。靶座中裝（zhuāng）有磁鐵，通過前（qián）後移動（dòng）磁鐵，改變磁場強度（dù），可調整（zhěng）弧斑移動速度（dù）及軌跡。為了降低靶及靶座的溫度，要給靶座不斷通入冷卻水。為了保證（zhèng）靶與靶座之（zhī）間的高導電、導熱性，還可以在靶與靶座之間加錫墊（diàn）片。磁控濺射鍍膜（mó）一般采用長方形或圓（yuán）柱（zhù）形濺射陰極。

　　9、水冷係統

　　一般由冷水塔，冰水機，水泵等組成（chéng）。

　　10、工控（kòng）係統

　　標簽：多弧鍍（dù）膜電源