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在OLED顯示麵板的製造過程中,需要在(zài)玻璃基板上進行有機膜(mó)層的真空(kōng)蒸鍍,該工作步驟(zhòu)需要在真空蒸鍍機內來完成。
因此(cǐ),提供一(yī)種(zhǒng)手套箱蒸鍍一體機,本(běn)係統由真空鍍(dù)膜係(xì)統和真空手套箱係統集成而成,可在高真空(kōng)蒸鍍腔室中完成薄膜蒸(zhēng)鍍,並(bìng)在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、製備以及(jí)蒸鍍後樣(yàng)品的檢測。
真空鍍膜係統優點:蒸發鍍膜與手(shǒu)套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉製作,使整個薄膜生長(zhǎng)和器件製備過程高度集成在一個完(wán)整的可控環境氛圍的係統中,消除有機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素(sù)影(yǐng)響,保障了高性能、大麵積有機光電器件和電路的製備。
真空鍍膜係統主要用於太陽能電池鈣鈦礦、OLED和(hé)PLED、半導體製(zhì)備等實驗研(yán)究與應用。
標(biāo)簽:真空鍍膜電源廠家
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