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真空鍍膜機是目前製作真空(kōng)條件(jiàn)應用為廣泛的設備,目前生活中使用到的物品都離不開真空鍍(dù)膜行業(yè)。
但是許多人都不知道真空鍍膜的主要構成部分,接下來讓菠萝视频一起來認識一下真空鍍膜機的主要構成部分。其中有:真空室、真空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入係統、機械傳動部分、加(jiā)熱及測(cè)溫部分、離子蒸發及濺射源、水(shuǐ)冷係統。
1、真空室(shì)
塗層設備主要有連續塗層生產線及單室塗(tú)層機兩種形式,不鏽鋼材料製造、氬弧焊接、表麵進行化學拋光處理,真(zhēn)空室組件上焊有各種規格的法蘭接口。
2.真空獲得部分
在真空技術(shù)中,真空獲得部分是重要組(zǔ)成部分。真空的獲得不(bú)是一種真(zhēn)空(kōng)設備和方法所(suǒ)能達到的,必須將幾種泵聯合(hé)使用,如機械泵、羅茨泵、分子泵係(xì)統等。
3.真空測量部分
真空(kōng)係統的真空(kōng)測量部分,就是要對(duì)真空室(shì)內的(de)壓強進行測量。像真空泵一樣,沒有一種真空計能測量整個真空範圍,人們於是按不同的原理和要(yào)求製成了許多種類(lèi)的真空計。如熱偶計,電離計,皮拉尼計等等。
4.電源供給部(bù)分(fèn)
靶(bǎ)電源主要有直流電源、中頻電源、脈衝電源、射頻電源(yuán)(RF),常見的(de)電源廠商有AE,ADL,霍廷格等
5.工藝氣體輸入係統
工藝氣體,如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙(yǐ)炔(quē)(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(qì)(H2)、氧氣(O2)等,一般均由氣瓶供應,經氣(qì)體減壓閥、氣體截止閥(fá)、管路、氣體流量(liàng)計、電磁閥、壓(yā)電閥,然後通入真空(kōng)室。這種氣體輸入係統的優點是,管路(lù)簡捷、明(míng)快,維修或更換氣瓶容易。各塗層(céng)機之間互不影響。也有多(duō)台塗層機共用一組氣瓶的情況,這種情況在一(yī)些規模較大的塗層車間可能有機會看到(dào)。它的好處是,減少氣瓶占用量,統(tǒng)一(yī)規劃(huá)、統一布局。缺點是,由於接頭增多,使漏氣機會增加(jiā)。而且,各塗層機之間(jiān)會互相幹擾,一台塗層機的管路漏氣,有(yǒu)可能會影響到其他(tā)塗層機的產品質量。此外,更換氣瓶時,必須保證所有機(jī)台(tái)都處於(yú)非(fēi)用(yòng)氣狀態(tài)。
6.機械傳動部分
塗層要求周邊必須(xū)厚度均勻一致,因此,在塗層過程(chéng)中須有三個轉動量才能滿足要求。即在要求大工件台轉動(I)的同時,小的工件承載(zǎi)台(tái)也轉動( II),並且工件本身(shēn)還能同(tóng)時自轉(zhuǎn)(III)。在機械設計上(shàng),一般是(shì)在大工件轉盤底(dǐ)部(bù)中央為一大的主動齒輪(lún),周圍是一些小的星行(háng)輪與之齧合,如果要實現(xiàn)產品自轉的話,一般用撥(bō)叉撥(bō)動工(gōng)件自轉。
7.加熱及測溫部分
塗層設(shè)備一般有不同(tóng)位置的加熱器,用熱電偶測控溫度。但是,由於熱電偶裝夾的(de)位置與工件位置不(bú)同,溫度讀數不可能是工件的真實溫度。要想測得工件的真實溫度,有很多方法,可(kě)以在工件上裝高溫試紙或熱(rè)偶計。
8.離子(zǐ)蒸發及濺射(shè)源
多弧鍍的蒸發源(yuán)一般為圓餅形,俗稱圓餅靶,也有長方形的多弧靶(bǎ)。靶座中裝有磁鐵,通過前後(hòu)移動磁鐵,改變磁場強度,可調整弧斑移動速度及軌跡。為了降低靶及(jí)靶座的溫度,要給靶座(zuò)不斷通入冷(lěng)卻水。為了保證靶與靶座之間的高導電、導熱(rè)性,還可以在靶與靶座之間加錫墊片。
9.水冷係統
一般由(yóu)冷水塔,冰水(shuǐ)機,水(shuǐ)泵等組成。
真空鍍膜機都離不開以上的(de)任何一個零件,有這些零件一台真空鍍膜機才算完整,才能正常的運(yùn)行。
標(biāo)簽;真空(kōng)鍍膜電源
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