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一、電控櫃的操作
1、玻（bō）璃真空鍍膜機開水泵、氣源
2、開總電源
3、開維持泵、真空（kōng）計電源，真空計檔位置V1位（wèi）置，等待其值小於10後，再進（jìn）入下一步（bù）操作。約需（xū）5分鍾。
4、開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真（zhēn）空計開關換到V2位置（zhì），抽到小於（yú）2為止，約需（xū）20分鍾（zhōng）。
5、觀察渦（wō）輪分子泵讀數到達250以後，關予抽，開前機和高閥繼（jì）續抽真空，抽真空到（dào）達一定程度後才能開右（yòu）邊的高（gāo）真空表頭，觀察真空（kōng）度。真空到達2×10-3以後才能開電子槍電（diàn）源。
二、DEF-6B電子槍電源櫃的（de）操（cāo）作
1、總電源
2、真空鍍膜設備同時開電子槍控製Ⅰ和電子槍控製Ⅱ電源：汽車玻璃鍍（dù）膜按電子槍控製Ⅰ電源（yuán）、延時開關，延時（shí）、電源及保護燈亮，三分鍾後延時及保護燈（dēng）滅，若後門未關好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。
3、開高壓，高壓會達到10KV以上，調節束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉（zhuǎn）電流在1~1.7之間擺動。
三、關機順序
1、關高真空表頭、關分子泵（bèng）。
2、待分子泵顯示到50時，依（yī）次關高閥、前級、機（jī）械泵，這期間約需40分鍾。
3、到50以下時，再關維持泵。
鍍膜機常（cháng）見故（gù）障及處理方（fāng）法
檢測不到掩（yǎn）膜夾具翻轉信號：
1、檢查翻麵信號源位置
2、將翻麵輸入信號人工短接，使用翻麵檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻麵控製開關上，根據情（qíng）況做相應處理。檢測（cè）不（bú）到信號首先檢查線路，然後（hòu）更換控製卡。
掩膜夾具翻轉不穩定:
1、檢查翻（fān）板的初始位置是否符合時機
2、檢測翻麵控製開關工作是否穩定，可用指針萬用表跟蹤監測。
3、檢查翻轉（zhuǎn）機構動作是（shì）否靈活可靠
4、檢查翻（fān）麵信號次數設置（zhì）
5、檢查旋轉工作台是（shì）否與鍾罩內壁有磨擦現象
6、檢測旋轉（zhuǎn）工作台在轉（zhuǎn）動時的穩（wěn）定性
在同一掩膜夾具頻率（lǜ）散（sàn）差大:
1. 檢查晶片本身是否散差大
2. 檢查膜層修正板位（wèi）置是否變動,重新調節修正板
3．檢查（chá）一下擋板在開、關時是否完全（quán）遮擋住鉬舟
4．檢查一下轟（hōng）擊環是否完（wán）遮擋住鉬舟
5、檢查鉬舟使用是（shì）否符合要求，要采用圓形鉬舟
鍋與鍋之間頻率散差大:
1、觀察一下（xià）監控片是否存在跳頻現象
2、反複測量統一監控片觀察振蕩器的穩定性（不超過75Hz）
3、檢查冷卻水是否（fǒu）通暢
4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟（zhōu）
5、監控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監（jiān）控片
鍍膜頻率不（bú）停止:
1、檢查頻率參數設置是否正確
2、鉬（mù）舟電流表是否（fǒu）有指示
3、鉬舟中是（shì）否（fǒu）有銀
4、監控片是否跳頻
5、修正係數是否錯誤
6、在出現非正常退後是否更換過監控片
測（cè）試不到頻率:
1、更換（huàn）一下監控片
2、檢查一下（xià）測試彈片是否變形
3、用一隻5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測量頻率，若有頻率證明（míng）是（shì）探頭問題，若無頻率，用計數器測量一（yī）下振蕩器輸出頻率是否異常（cháng），無正常輸出證（zhèng）明振蕩器有問題，有正常輸出但計算機無（wú）顯示證明控製卡有問題
控製閥均不動作（zuò）:
1. 檢查5V電源是否有輸（shū）出（chū），是否接好
2. 檢查固態繼電器板（bǎn）上電源公共端是否有電（diàn）
控製閥個別不動（dòng）作
1、檢查相應的固態繼電器是否有輸出
未達（dá）到真空（kōng）度就工（gōng）作:
1、數字真（zhēn）空計（jì）出現不正常數字，且30秒內無（wú）變化，例如0.00-4（國產真空計常（cháng）見）現象
2、指針表在真空計打開30秒後，黑色指針仍不擺動
監控片使用原則（zé）
1、監控片表麵要清洗幹淨
2、監控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時（shí）以上禁止使用
3、監控片及其表麵存在存在缺（quē）陷的禁止使用
4、使（shǐ）用過程（chéng）中要（yào）記錄好使用批次，嚴禁出現新舊混用
5、監控片反複使用壽命為3次。
標簽：真空鍍膜電源
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