真空鍍膜電源的維護和保養介紹

真空鍍（dù）膜設備，主要指一類需要在較（jiào）高真空度下進行的鍍（dù）膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分（fèn）子束外延，PLD激光濺射沉積等（děng）很多種。

　　1、真空鍍膜電（diàn）源每完成200個鍍膜程序以上（shàng），應清潔工作室一次。方法是：用燒堿（NaOH）飽和溶液反複擦洗真空室內壁，（ 注意人體皮膚不可（kě）以直接接（jiē）觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜（mó）料鋁（AL）與NaOH發生反應，反應後膜層脫落，並釋放（fàng）出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。

　　2、當粗抽（chōu）泵（滑閥泵，旋片泵）連續工作一（yī）個月（雨季減半），需更換新油。方法是：擰開放油螺栓，放（fàng）掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的（de）舊油完（wán）全排放（fàng）出（chū）來。擰回放油螺栓，加入新油至額定（dìng）量（油視鏡觀察）。連續使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦幹淨（jìng）箱內汙垢。

　　3、擴散（sàn）泵連續使用6個（gè）月（yuè）以上，抽速明顯變（biàn）慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下（xià）電爐盤，將一級噴嘴擰出，先（xiān）用汽油（yóu）將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水（shuǐ）清洗一遍，然後用（yòng）清水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹以後，裝好泵膽，加入新（xīn）擴散泵（bèng）油，並裝回機（jī）體，接好水管，裝好電爐盤，便可（kě）以重新（xīn）開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是：啟動（dòng）維持泵（bèng），關好（hǎo）大門（mén），數分鍾（zhōng）後，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則（zé）要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封（fēng）膠圈，或（huò）壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒環無（wú）法進入（rù）工作狀態。

標簽（qiān）：真空鍍膜電源