脈衝偏壓電（diàn）源（yuán）的作用詳細介紹

脈衝偏（piān）壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相（xiàng）沉積設（shè）備中一個重要（yào）組件，在鍍膜工藝流程中為工件提供負（或正）偏壓。

　　1）提高真空等離子體（tǐ）內帶（dài）電粒子的能量，轟擊清洗所鍍（dù）工件表麵，使工件表（biǎo）麵經受高能粒子撞擊後得到嶄新的表（biǎo）層，從而提高後續沉（chén）積膜層的結合力

　　2）提高（gāo）並控製真空（kōng）等離子體內帶電粒子的能量，提高膜（mó）層與工件基體結（jié）合力

　　3）靠不同的電壓輸出極性或方式改（gǎi）變沉積規則，調整膜層顏色

　　4）克服偏壓電源工作（zuò）於真空（kōng）等離子體環境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒（shāo）傷工（gōng）件

標簽：脈衝偏壓電源