脈衝偏壓電源的作（zuò）用講解

偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一（yī）個重要組件，在鍍膜工（gōng）藝流程中為工件（jiàn）提供負（fù）（或正）偏（piān）壓（yā）。

脈衝偏壓電（diàn）源（yuán）：

　　1）提高真空等離子體內帶電（diàn）粒子的能量（liàng），轟擊清洗所鍍工件表麵，使（shǐ）工件表麵經受高（gāo）能粒子撞（zhuàng）擊後得到嶄（zhǎn）新的表層，從而提高後續沉積膜層的結合力

　　2）提高並控製真（zhēn）空等離（lí）子體內帶電（diàn）粒子的能量，提高膜層與（yǔ）工件基體結合力

　　3）靠不（bú）同的電壓輸（shū）出極性或方（fāng）式改變沉積（jī）規（guī）則，調整膜層顏色

　　4）克服偏壓電源工作於真空等離子體環境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件

標簽（qiān）：脈衝偏壓電源（yuán）