多功（gōng）能鍍膜設備及（jí）鍍膜方（fāng）法

      目前，真空磁控濺射鍍膜機、真空蒸發鍍膜機、真空多弧離子鍍膜機等，真空磁控濺射鍍膜機可在低溫狀態下進（jìn）行非金（jīn）屬材料進行鍍膜，真空蒸發鍍膜機（jī）和（hé）真空多弧離子鍍膜機屬於（yú）高溫鍍膜，適用於金屬材料鍍膜。

　　每種鍍膜機都有各自特（tè）點和使用範圍限製，如需鍍製多種不同膜層以及（jí）進行金（jīn）屬和非金屬材料的鍍膜，需要購置上述（shù）多種真空鍍膜機，存在設備投資大的缺點。

　　為了解決問題，提供（gòng）一種多（duō）功能（néng）磁控濺射鍍膜（mó）係統（tǒng）。本係統由真空鍍膜係統和真空手套箱係統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成（chéng）薄膜蒸鍍，並在手套箱高純惰性氣體氛圍下進（jìn）行樣品（pǐn）的存（cún）放、製備以及蒸鍍後（hòu）樣品的檢（jiǎn）測。 多功能磁控濺射鍍膜係統主要用途：用於（yú）製備（bèi）各（gè）種金屬膜、半導體膜、介質（zhì）膜、磁控膜、光學膜、超導膜（mó）、傳感（gǎn）膜以及各種特殊需求的功能薄膜。

　　標（biāo）簽：多弧鍍膜電源