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真空鍍膜是(shì)一種產生薄膜材(cái)料的技(jì)術。在(zài)真空室內材(cái)料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表麵上。
然而,真空鍍膜的先決條件是要確保真(zhēn)空腔室具有(yǒu)良好穩定的真空度。目前,真(zhēn)空鍍膜設備密封形式多采用(yòng)單根橡膠圈密封,這種(zhǒng)密(mì)封(fēng)形式適用於較小密封(fēng)麵的密封(fēng),對(duì)於較大密封麵采(cǎi)用(yòng)該種密封方式容易出現密封效果不佳的問題。
提供一種安全可靠的真空鍍膜設備,本(běn)係統由真空鍍膜(mó)係統和手套箱係統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄(báo)膜蒸鍍,並在手套箱高純惰性氣(qì)體氛圍下進行樣品的(de)存(cún)放、製備(bèi)以及蒸鍍後樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、等工藝全封閉製作,使整個薄膜生長和器件製備過程高度集成在(zài)一個完整的可控環境氛圍的係統中,消除有機大麵積電路製備過程中大氣環境中不穩定因素(sù)影響,保障了高性能、大麵積有機光電器(qì)件和電路的製(zhì)備。
標簽:真空鍍膜電源
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