安全可靠的真空鍍膜（mó）設備

真空鍍膜是（shì）一種（zhǒng）產生薄膜（mó）材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被（bèi）鍍物體的表麵上。

　　然而，真空鍍膜的先決條件是（shì）要（yào）確保真空腔（qiāng）室具有良好穩定的（de）真空度。目前，真（zhēn）空鍍膜設備密封形式多采用單（dān）根橡膠圈（quān）密封，這種密封形式適用於較（jiào）小密封麵的（de）密封，對於較大（dà）密封麵采用該種密封方式容易出現（xiàn）密封效果不佳的問題。

　　提供一種安全可靠的真空鍍膜設（shè）備，本係統由真空鍍膜係統和手套箱（xiāng）係統集成而成，可在高真空蒸（zhēng）鍍腔室中完（wán）成薄膜蒸鍍，並在（zài）手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的（de）檢測。

　　蒸發鍍膜（mó）與手套箱組合，實現蒸（zhēng）鍍、封裝、測試等工（gōng）藝全封閉製（zhì）作，使整個薄膜生長和（hé）器件製備過程高度集（jí）成在一個完整的可控環境氛圍的（de）係統中，消除有機大麵積電路（lù）製備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大麵積有機光電器件和電路的製備。

　　標簽：真空鍍（dù）膜電源